Mikroskopie mit Röntgenstrahlen – Hochauflösende 3D-Bildgebung blickt in das Innere von Mikrochips

Nano-CT ist eine moderne Analysemethode um mit mikroskopischer Auflösung in das innere von Objekten zu schauen, wo normale Mikroskope nicht hinkommen. Forschende zeigen am Beispiel, wie man damit die Strukturen und Leiterbahnen in Mikrochips untersuchen kann. Somit können verborgene Fehler und Defekte sichtbar gemacht oder die Mikrochips auf ihre Funktion und Authentizität geprüft werden.